实验室喷金仪

实验室喷金仪  

实验室喷金仪是什么？  

在封闭腔室中，放置阳极靶材，充入气体，保持一定的真空度，在阳极和阴极之间加载高压，会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散，并在样品上沉积，最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电，减小热损伤，提高二次电子产率，从而改善扫描电镜观察效果。  

实验室喷金仪适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜)，仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样仪器。同时广泛应用于电极的制作。  

改善实验室喷金仪喷金效果的几个技巧：  

1.腔室一定要保持干净！如果可以的话，不要在喷金仪的腔室中进行蒸碳操作，最好用另一台设备进行蒸碳。（防止蒸碳污染溅射仪腔室）。  

2.可以用热肥皂水定期清洁腔室，并充分干燥。不建议使用试剂，这可能会影响健康安全。如果沉积物太顽固，可以考虑使用厨房百洁布。  

3.可以使用异丙醇清洗金属表面。但不要用丙酮，它不仅会影响健康安全，而且更难回姂干净，会影响真空性能。  

4.千万不要在没有隔断真空泵的情况下，让溅射腔长时间处于真空状态。通常情况下，手动操作阀门可以隔断真空泵与腔室。如果没有阀门隔断，隔膜泵的泵油可能会回流，污染溅射腔室。  

5.确保设备干燥。开始溅射前，设备要抽到要求的真空度。否则，会明显影响溅射响效率，并带来污染。  

6.把机械泵固定在一个牢固的基台上。并记得定期维护机械泵。  

7.溅射气体：请使用高纯氩气（>99.999%），这可以确保更快的溅射速率和更短的抽气时间。  

8.如果想在表面不规则的样品上获得均匀的溅射镀层，最好使用行星式旋转样品台。  

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